>> P.315
CAD취급설명서1105551104-M4탭 홀135φ12088θ축16CCWCWφ90120110100X축+-510252550-+Y축100110120105SA120DE/XS、SA120DE/XTφ36깊이258-M4깊이8(1)(등분 배치)5110551104-M4탭 홀252550-+X축120SA120DE/XYS、SA120DE/XYTφ90φ120135X축-+88θ축CWCCW16φ36깊이258-M4깊이8(1)(등분 배치) 얼라이먼트 스테이지 SA SA120DE/XY8-M4깊이6(1)-+Y축1201105551104-M4탭 홀25252575주( 1 )취부 볼트의 길이가 너무 길면 가동 테이블의 주행 성능에 악영향을 끼칠수 있기 때문에, 취부 나사 홀의 깊이보다 긴 볼트를 삽입하지 않도록 해 주십시오.비고 케이블 길이에 대해서는, SA120DE/X 및 SA120DE/S의 치수표를 참조해 주십시오.Ⅱ-291