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배드랙&피니언내장형크로스롤러웨이고정자코일리니어엔코더용스케일30자세정밀도:5초이하피칭요잉-3001020304050위치mm1110.810.610.410.2109.89.69.49.205010mm/s속도안정성(측정주파수1000Hz):±1%이하시간s주행진직도:1μm이하위치mm자세정밀도초속도mm/s진직도오차μm0Points1●높은자세정밀도高정밀도로가공한부품과랙&피니언내장형크로스롤러웨이를조합하여,자세정밀도5초이하를실현하였습니다.이동에따른자세변화가지극히적고,위치재현성에우수합니다.●높은속도안정성스무즈한동작의크로스롤러웨이,코어레스무빙마그네트타입의리니어모터와고성능서보드라이버에의한,속도안정성이한층더향상되었습니다.●높은주행정밀도구성부품을정밀도좋게조립한것으로,진직도1μm23이하라는높은주행정밀도를실현하고있습니다.Ⅱ-245나노리니어TMNTNTㆍㆍㆍH[고정밀도타입]NT…H는테이블안내부에롤러타입의랙&피니언내장형가동테이블크로스롤러웨이를사용하여,1μm이하의위치결정정밀도와리니어엔코더용헤드주행진직도로,높은강성과공기정압베어링에가까운맥동없이가동자마그네트스무즈한작동을실현한高정밀도리니어모터테이블입니다.
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