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나노리니어NT는무빙마그네트방식의단면높이가매우낮은리니어모터테이블입니다.가동테이블안내부에는소형직동안내기기분야에서정평이있는리니어웨이,또는크로스롤러웨이를사용하여,리니어모터와高분해능리니어엔코더를조합시켜더욱高정밀도위치결정을실현합니다.高성능네오디뮴자석을채택하여큰추력을얻을수있기때문에,소형이면서고속ㆍ高응답위치결정이가능합니다.또한,가동케이블이없는획기적인구동방식을채택하였으며,기계적접촉부분은직동안내기기뿐이기에,높은크린도를발휘합니다.나노리니어NT는,가동자에마그네트와리니어엔코더용스케일을고정자에공심코일과리니어엔코더용헤드를컴팩트하게배치한구조입니다.좌측그림과같이,마그네트요크에의해항상수직방향에작용하는자속과코일전류에의해코일주변에발생하는회전자속에따라,코일은수평방향으로힘을받습니다.(플레밍의왼손법칙)자속의방향에코일의전류를전환하는것으로,한방향의연속적인추력을얻을수있어가동자는직선운동을지속합니다전류량에따른가속도제어와리니어엔코더에의한피드백으로이동과정확한위치결정을실행합니다.나노리니어NT스팩일람±0.5±0.5±0.5±0.5368120±0.5스탠다드타입NT…VNT55V25NT55V65NT80V25NT80V65NT80V120형식과크기단면형상유효스트로크mm분해능μm정격추력N2572552576553682553686555최대가반질량kg최대추력N반복위치결정정밀도μm551430.6100.50.1±0.50.50.1±0.5500270500270NT38V10NT38V180.530.8180.58016최고속도mm/s501045±0.5252.510±0.570자냉:16공냉:20자냉:16공냉:2025±0.57010±0.5픽&플레이스유닛NT…XZ高정밀도타입NT…HNT80XZ4510高추력픽&플레이스유닛NT…XZHNT90XZH2510형식과크기단면형상유효스트로크mm분해능μm정격추력Nㅡ0.1ㅡ0.2최대가반질량kg최대추력N반복위치결정정밀도μm25565±0.1±0.1NT88H655최고속도mm/s2588X축Z축X축Z축18153210185(168)16029.5260(268)29.5나노리니어NT의동작원리테이블이동방향마그네트요크(가동자)마그네트(가동자)코일(고정자)자속코일요크컴팩트함을극대화한선진리니어모터테이블NT시리즈!3826110.50.1130027010000.50.1130027010000.50.1130027010000.50.1130027010000.50.1130027010000.50.10.50.10.50.10.50.1130080080013002702700.05400NT88H250.01900.054000.01902701000100010001000270255525Ⅱ-242
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