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高정밀위치결정테이블TXTXࢫࢫࢫM슬라이드테이블리니어롤러웨이볼스크류리미트센서Y테이블배드CTXࢫࢫࢫM볼스크류직선리니어엔코더헤드스케일X테이블주요제품사양정밀도구동정밀볼스크류반복위치결정정밀도±0.0005~0.0010직동안내기기리니어롤러웨이(롤러타입)위치결정정밀도0.003~0.020윤활부품내장윤활부품「C루브」내장로스트모션0.001단위mm테이블·배드의재질주철센서표준장착Ⅱ-147테이블운동의평행도A0.005~0.011테이블운동의평행도B—자세정밀도5~11초진직도백레쉬0.003~0.008—
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