>> P.26
각 제품별 시리즈의 해설과 치수표●정밀 위치 결정 테이블 TE해설・・・・Ⅱ- 5치수표・・・・Ⅱ- 17●정밀 위치 결정 테이블 TU해설・・・・Ⅱ- 31치수표・・・・Ⅱ- 65●정밀 위치 결정 테이블 L해설・・・・Ⅱ- 99치수표・・・・Ⅱ-112●정밀 위치 결정 테이블 LH해설・・・・Ⅱ-119치수표・・・・Ⅱ-133●高정밀 위치 결정 테이블 TX해설・・・・Ⅱ-147치수표・・・・Ⅱ-160●크린 정밀 위치 결정 테이블 TC해설・・・・Ⅱ-169치수표・・・・Ⅱ-182●마이크로 정밀 위치 결정 테이블 TM●정밀 위치 결정 테이블 TSㆍCT해설・・・・Ⅱ-187치수표・・・・Ⅱ-201해설・・・・Ⅱ-205치수표・・・・Ⅱ-218●정밀 위치 결정 테이블 LB해설・・・・Ⅱ-229치수표・・・・Ⅱ-236●나노리니어TM NT해설・・・・Ⅱ-241치수표・・・・Ⅱ-268●얼라이먼트 스테이지 SA해설・・・・Ⅱ-277치수표・・・・Ⅱ-288●리니어 모터 테이블 LT해설・・・・Ⅱ-297치수표・・・・Ⅱ-317●얼라이먼트 테이블 AT해설・・・・Ⅱ-331치수표・・・・Ⅱ-338●회전 스테이지 SK해설・・・・Ⅱ-343치수표・・・・Ⅱ-348●얼라이먼트 모듈 AM해설・・・・Ⅱ-351치수표・・・・Ⅱ-359●정밀 승강 테이블 TZ해설・・・・Ⅱ-365치수표・・・・Ⅱ-373●병렬 드라이브 스테이지TM PD해설・・・・Ⅱ-379치수표・・・・Ⅱ-384●리니어 모터 구동 테이블용 드라이버 사양 일람해설・・・・Ⅱ-387종합 해설●종합 해설・・・・・・・・・・・ Ⅲ-2・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・Ⅱ-2