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크린 환경의 용도라면크린 정밀 위치 결정 테이블 TCTC···EB청정도 클래스3을 실현!내식성에 우수한 스테인레스 시트, 사이드 커버에 의한 구동부와 슬라이드 테이블의 안내 부분을 밀폐. 스테인레스 시트는 슬라이드 테이블내에 설치된 수지 제품의 롤러에 의한 사이드 커버에 밀착되어, 강력한 마그네트 시트로 확실히 흡착하는 구조를 채용하여, 밀폐된 내부 공간으로부터 공기를 흡인하는 것으로, 테이블 주변에서의 분진 발생을 방지합니다.Ⅰ-22TC50EB150(볼스크류 리드:4mm)스속흡트로인크도량:50mm:200mm/s:5L/minTC50EB300(볼스크류 리드:8mm)스속흡트로인크도량:200mm:400mm/s:10L/min클래스5 상한클래스4 상한클래스3 상한클래스2 상한클래스1 상한측정치100 00010 0001 000100101입자 농도개/m3클래스5 상한클래스4 상한클래스3 상한클래스2 상한클래스1 상한측정치100 00010 0001 000100101입자 농도개/m30.1μm이상0.2μm이상0.3μm이상0.5μm이상0.1μm이상0.2μm이상0.3μm이상0.5μm이상입자 직경입자 직경TC60EB300(볼스크류 리드:10mm)스속흡트로인크도량:200mm:500mm/s:30L/minTC60EB600(볼스크류 리드:10mm)스속흡트로인크도량:500mm:500mm/s:30L/min클래스5 상한클래스4 상한클래스3 상한클래스2 상한측정치클래스1 상한100 00010 0001 000100101입자 농도개/m3클래스5 상한클래스4 상한클래스3 상한클래스2 상한측정치클래스1 상한100 00010 0001 000100101입자 농도개/m30.1μm이상0.2μm이상0.3μm이상0.5μm이상0.1μm이상0.2μm이상0.3μm이상0.5μm이상입자 직경입자 직경TC86EB640(볼스크류 리드:20mm)스속흡트로인크도량:200mm:1000mm/s:70L/minTC86EB940(볼스크류 리드:20mm)스속흡트로인크도량:800mm:560mm/s:40L/min0.1μm이상0.2μm이상0.3μm이상0.5μm이상0.1μm이상0.2μm이상0.3μm이상0.5μm이상입자 직경입자 직경클래스5 상한클래스4 상한클래스3 상한클래스2 상한측정치클래스1 상한100 00010 0001 000100101입자 농도개/m3클래스5 상한클래스4 상한클래스3 상한클래스1 상한측정치클래스2 상한100 00010 0001 000100101입자 농도개/m3
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