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높은 자세 정밀도!高정밀도로 가공한 부품과 랙&피니언 내장형 크로스롤러웨이를 조합하여, 자세 정밀도 5초이하를 실현 하였습니다. 이동에 따른 자세 변화가 지극히 적고, 위치 자세 정밀도:5초이하피칭요잉재현성에 우수합니다.30자세 정밀도초0-3001020304050스트로크mm나노리니어TM NTNT···HⅠ-19시료:CTX220M-4030X축Y축100200300400스트로크mm10.05.00.0-5.0-10.0위치 결정 정밀도μm超高정밀도 리니어 엔코더 탑재에 따른,높은 위치 결정 정밀도와 분해능을 보증!C루브 리니어롤러웨이 수퍼X의 채용에 의한, 궁극의 주행 성능을 실현. 超리니어 엔코더에 의한 풀 크로즈드 루프 제어를 구성하고, 스트로크 전역에 대하여 高분해능 높은 위치 결정 정밀도를 보증하고 있습니다.진화를 계속하는 위치 결정 기구②高정밀도를 추구한다면高정밀 위치 결정 테이블 TXTX···M, CTX···M
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