>> P.13
형식ㆍ사이즈별 제품군④다양한 형식ㆍ풍부한 제품군얼라이먼트 스테이지 SASA···DE리니어 모터 구동직선얼라이먼트● XYθ3축을 조합한 단면 높이가불과 52mm의 박형ㆍ컴팩트 (SA65DE)● XY축:0.1μm, θ축:0.36초의 高분해능 (SA120DE)● XYθ의조합이 자유자재사양형식과 크기SA 65 DE/XSA 120 DE/XSA 200 DE/XSA 65 DE/SSA 120 DE/SSA 200 DE/S최대 스트로크최대 동작 각도 10 (mm) 20 (mm) 20 (mm) 50 (도) 60 (도)280 (도)최고 속도분해능500(mm/s)800(mm/s)800(mm/s)720(도/s)400(도/s)270(도/s)0.1, 0.5(μm)0.1, 0.5(μm)0.1, 0.5(μm)0.64(초)0.36(초)0.25(초)정밀도반복 위치 결정 정밀도위치 결정 정밀도로스트 모션테이블 운동의 평행도 A테이블 운동의 평행도 B자세 정밀도진직도백레쉬Ⅱ-276페이지로 가기Ⅰ-13
| < 
| 
> | 
>>
