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볼스크류 구동직선Ⅱ-146페이지로 가기볼스크류 구동직선Ⅱ-168페이지로 가기형식ㆍ사이즈별 제품군②다양한 형식ㆍ풍부한 제품군高정밀 위치 결정 테이블 TXTX···M (단축 사양)CTX···M (2축 사양)● 롤러 타입으로 궁극의 위치 결정 성능을 실현● 초高정밀도 리니어 엔코더 탑재의풀 크로즈드 루프 제어로 高정밀도● 용도에 맞게 선택하는 제어 방식● C루브 내장 장기 메인터넌스프리 사양사양형식과 크기TX 120MTX 220MTX 320MTX 420MCTX 120MCTX 220M최대 스트로크(mm)300400500800300 × 200400 × 300최고 속도(mm/s)500500448448500500정밀도볼스크류 리드반복 위치 결정 정밀도(mm)5, 105, 105, 105, 105, 105, 10위치 결정 정밀도로스트 모션테이블 운동의 평행도 A테이블 운동의 평행도 B자세 정밀도진직도백레쉬크린 정밀 위치 결정 테이블 TCTC···EB● 반도체ㆍLCD 관련 제조 장비 등, 높은 청정도가요구되는 환경에서 사용하기 최적● 경량ㆍ저단면ㆍ컴팩트 위치 결정 테이블● 청정도 클래스3 대응● C루브 내장 장기 메인터넌스프리 사양최대 스트로크(mm)200500800최고 속도(mm/s)4005001 000정밀도볼스크류 리드반복 위치 결정 정밀도(mm)4, 85, 10 10, 20위치 결정 정밀도로스트 모션테이블 운동의 평행도 A테이블 운동의 평행도 B자세 정밀도진직도백레쉬사양형식과 크기TC50EBTC60EBTC86EBⅠ-9
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