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형식과크기TX120MTX220MTX320MTX420MCTX120MCTX220M300400500800300×200400×3005,105,105,105,105,105,10500500448448500500최대스트로크(mm)최고속도(mm/s)볼스크류리드(mm)반복위치결정정밀도위치결정정밀도로스트모션테이블운동의평행도A테이블운동의평행도B자세정밀도진직도백레쉬정밀도형식ㆍ사이즈별제품군②다양한형식ㆍ풍부한제품군高정밀위치결정테이블TXTX···M(단축사양)CTX···M(2축사양)크린정밀위치결정테이블TCTC···EB●반도체ㆍLCD관련제조장비등,높은청정도가요구되는환경에서사용하기최적●경량ㆍ저단면ㆍ컴팩트위치결정테이블●청정도클래스3대응●C루브내장장기메인터넌스프리사양●롤러타입으로궁극의위치결정성능을실현●초高정밀도리니어엔코더탑재의풀크로즈드루프제어로高정밀도●용도에맞게선택하는제어방식●C루브내장장기메인터넌스프리사양형식과크기TC50EBTC60EBTC86EB2005008004,85,1010,204005001000최대스트로크(mm)최고속도(mm/s)볼스크류리드(mm)반복위치결정정밀도위치결정정밀도로스트모션테이블운동의평행도A테이블운동의평행도B자세정밀도진직도백레쉬정밀도볼스크류구동볼스크류구동직선직선사양사양페이지로가기Ⅱ-146페이지로가기Ⅱ-168Ⅰ-9
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