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Ⅱ-318Ⅱ-228Ⅱ-240Ⅱ-272Ⅱ-290나노리니어NT얼라이먼트스테이지SA리니어모터테이블LTTSLBSA…DEATⅡ-330회전스테이지SK●크로스롤러베어링을채용하여고강성・컴팩트●고정밀도의매끄러운위치결정이가능●테이블및검사대상물을직접취부하여설계에드는시간과비용을절감SK…WLT…LDLT…CELT…HNT…HNT…VNT…XZHNT…XZ●타이밍벨트구동의고속타입●리니어웨이를병렬사용하여안정된높은주행성능●컴팩트화를지향추구●NT38V는단면높이가불과11mm의超저단면●용도에맞게최적의선택이가능풍부한제품군●고속ㆍ高분해능을모두만족●高가감속ㆍ高응답으로스무즈한동작●C루브내장장기메인터넌스프리사양●XYθ3축을조합한단면높이가불과52mm(SA65DE)●XY축:0.1μm,θ축:0.25초의高분해능(SA200DE)●高정밀도위치결정에서정밀각도보정이가능●크로스롤러베어링을채용하여高강성ㆍ컴팩트웜기어구동회전직선직선타이밍벨트구동직선리니어모터구동얼라이먼트리니어모터구동직선리니어모터구동얼라이먼트볼스크류구동정밀위치결정테이블LB얼라이먼트테이블ATⅡ-338얼라이먼트모듈AMAM●용도에맞게자유롭게스테이지설계가능●높이치수의허용차를±10μm로관리얼라이먼트볼스크류구동Ⅱ-352정밀승강테이블TZTZ…HTZ…X●독자의경사기구를사용하여,컴팩트로高정밀도의상하방향의위치결정이가능●TZ···X는,C루브리니어롤러웨이슈퍼X를채택하여,정밀도ㆍ高강성을실현.상하볼스크류구동Ⅰ-6
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