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정밀 위치 결정 테이블 LB● 타이밍 벨트 구동의 고속 타입● 리니어웨이를 병렬 사용하여 안정된 높은 주행 성능나노리니어TM NT● 컴팩트화를 지향 추구● NT30V는 단면 높이가 불과 8mm의 超저단면● 용도에 맞게 최적의 선택이 가능 풍부한 제품군리니어 모터 구동직선타이밍 벨트 구동직선TSLBⅡ-228NT…VNT…HNT…XZNT…XZHⅡ-240얼라이먼트 스테이지 SA● XYθ3축을 조합한 단면 높이가 불과 52mm (SA65DE)● XY축:0.1μm, θ축:0.25초의 高분해능 (SA200DE)리니어 모터 테이블 LT● 고속ㆍ高분해능을 모두 만족● 高가감속ㆍ高응답으로 스무즈한 동작● C루브 내장 장기 메인터넌스프리 사양리니어 모터 구동직선리니어 모터 구동얼라이먼트직선SA…DE얼라이먼트 테이블 AT● 高정밀도 위치 결정에서 정밀 각도 보정이 가능● 크로스롤러베어링을 채용하여 高강성ㆍ컴팩트볼스크류 구동얼라이먼트AT얼라이먼트 모듈 AM● 용도에 맞게 자유롭게 스테이지 설계 가능● 높이 치수의 허용차를 ±10μm로 관리볼스크류 구동얼라이먼트AMⅡ-276LT…CE LT…LDLT…HLT…H2Ⅱ-296회전 스테이지 SK● 크로스롤러베어링을 채용하여 고강성·컴팩트● 고정밀도의 매끄러운 위치 결정이 가능● 테이블 및 검사 대상물을 직접 취부하여 설계에 드는 시간과 비용을 절감웜 기어 구동회전Ⅱ-330SK…WⅡ-342정밀 승강 테이블 TZ● 독자의 경사 기구를 사용하여, 컴팩트로 高정밀도의 상하 방향의 위치 결정이 가능● TZ···X는, C루브 리니어롤러웨이 슈퍼X를 채택하여, 高정밀도ㆍ高강성을 실현.볼스크류 구동상하Ⅱ-350TZ…HTZ…XⅡ-364병렬 드라이브 스테이지TM PD● 볼스크류 구동 XY 스테이지로써 매우 낮은 단면 높이를 실현● 가동부의 케이블리스화로 주변 공간의 유효 활용이 가능하며, 케이블 처리는 모터 측만 하면 되므로 배선 처리가 심플하여 공간 절약화에도 공헌볼스크류 구동XY 방향PD…SⅡ-378Ⅰ-6