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組立機、加工機、測定器組立機、加工機、測定器組立機、加工機、測定器精密加工機、精密測定器工作機、組立機精密加工機、精密測定器工作機、組立機半導体関連装置、液晶関連装置精密測定器、組立装置精密測定器、プローバ画像処理装置、露光装置高速搬送、パレットチェンジャ半導体関連装置、医療機器半導体関連装置、精密測定器半導体関連装置、医療機器4モータの仮選定●モータの種類と大きさ5最高速度と分解能の検討●ボールねじのリード●モータの最高回転数●エンコーダ仕様テーブル形式の仮選定再検討●スライドテーブルの送り機構●大きさ●ストローク長さ●軸数36決定運転パターンの検討●限界加速時間●実効トルク●イナーシャ●位置決め時間送り機構適用モータセンサ装備直動案内機器用途CルーブボールねじボールねじACサーボ・ステッピング選択Cルーブ内蔵U字形トラックレールリニアウェイU字形トラックレールリニアウェイCルーブリニアウェイ2本並列Cルーブボールねじ標準装備ACサーボCルーブリニアローラウェイスーパーX2本並列Cルーブ内蔵U字形トラックレールリニアウェイリニアウェイラック&ピニオン内蔵形クロスローラウェイクロスローラウェイ2本並列リニアウェイCルーブリニアウェイリニアウェイラック&ピニオン内蔵形クロスローラウェイ2本並列2本並列ボールねじACサーボ・ステッピングタイミングベルトステッピングACリニアサーボモータ選択標準装備選択Cルーブリニアウェイ2本並列半導体関連装置、高速搬送装置ボールねじACサーボ・ステッピング標準装備U字形トラックレールリニアウェイ半導体関連装置、液晶関連装置Ⅲ4
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