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TZ精密昇降テーブルTZ繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ±0.0010.0050.001-----テーブルリニアローラウェイ、リニアウェイモータブラケットベッドセンサくさびボールねじ駆動テーブル・ベッドの材質センサ精密ボールねじリニアローラウェイ(ローラタイプ)潤滑部品「Cルーブ」内蔵アルミ押出材(アルマイト)標準装備リニアウェイ(ボールタイプ)単位mm主な製品仕様精度潤滑部品の内蔵直動案内機器Ⅱ353