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Points1●多彩な動作を実現する位置決めモジュール精密位置決めテーブルTUをベースに、高剛性形クロスローラベアリングとリニアウェイを組み合わせ、アライメントステージ用に開発された位置決めモジュールです。3●用途に合わせたステージを自由に設計可能様々なステージとベースにアライメントモジュールAMを組み合わせ、用途に合わせたアライメントステージが自由に設計できます。2●高さ調整が不要高さ寸法の許容差を±10μmと高精度に管理しています。各アライメントモジュールAMの高さ調整することなく、アライメントステージが構成できます。●□2000クラスの大型ステージも対応!バリエーションアライメントステージの構成例と動作原理形状形式と大きさストローク長さ(mm)AM25大きさW×L×H(mm)86×130×4730AM40120×180×7830AM60220×290×11090AM86350×390×148120LHWアライメントモジュールAM2000mm2000mmⅡ340
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