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回転案内部にIKOクロスローラベアリングを組込み、テーブル上面の振れ量は5μm以下を実現しています。●高精度Points123●低断面・高剛性●設計工数削減回転案内部にあらゆる方向に対して高剛性を発揮するIKOクロスローラベアリングを採用。更にクロスローラベアリングを直接テーブルとすることで低断面を実現しています。テーブルには、装置のテーブルや検査対象物等を直接取り付けることが可能です。機構部品を使用して、一から回転ステージの設計をする手間を削減できます。回転ステージSK…Wの駆動機構SK…Wは、ウォームギア機構を採用した無限回転ステージです。IKOクロスローラベアリングを回転案内部に採用し、直接テーブルとすることで高精度な回転振れ、高剛性、低断面を実現しています。ウォームギアモータバリエーションSK…Wにはリミットセンサなし仕様とリミットセンサ付き仕様をご用意しています。リミットセンサ付き仕様の場合、320度までの動作範囲を任意の位置で設定することができます。リミットセンサなし仕様カバーテーブルリミットセンサ付き仕様カバー上面テーブル原点用センサ確認用切り欠き原点用センサ、原点用センサドグ(センサ感知角度:約3度)テーブル振れ5μm以下低断面30mm(リミットセンサなし仕様)テーブルや検査対象物を直接取り付けるだけ!リミットセンサドグリミットセンサリミットセンサリミットセンサドグ原点用センサ、原点用センサドグ(センサ感知角度:約3度)Ⅱ338
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