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表4精度位置決め精度秒21.6繰返し位置決め精度秒±7.2ロストモーション秒32.4バックラッシ秒32.4取付面に対するテーブル上面の平行度μm20(40)テーブル内径のラジアル振れ量μm5(15)テーブル上面の振れ量μm5(25)備考()内はリミットセンサ付き仕様の場合を示します。表3諸特性動作角度範囲(1)度360分解能(2)秒1.08テーブルの最高回転数min-15ウォーム軸の最高回転数min-1600モーメント剛性秒/N・cm0.04耐荷重(3)4)N50注(1)リミットセンサなし仕様のときの値を示します。リミットセンサ付き仕様では320度までの範囲で任意の角度に調整が可能です。(2)モータの分割数設定が10000pulse/revの場合の値を示します。(3)機能上及び性能上支障なく使用することができる最大荷重を示します。(4)搭載質量の重心位置は、Ⅱ-336に記載するテーブルまたは上面テーブルの外径より内側になるように配置してください。Ⅱ334諸特性精密位置決めテーブルの取付面の加工精度や固定ねじの締付トルクについては、Ⅲ-35～Ⅲ-36ページをご参照ください。取付け(22.5°)原点用センサON(3°)図1原点用センサのタイミングチャート※リミットセンサなし仕様の場合、カバーの切り欠きから原点用センサドグの位置を確認することができます。※リミットセンサ付き仕様の場合、原点用センサドグの位置はカバーを外した状態で確認ください。※リミットセンサドグ調整後はカバーが取り外せませんので、取付面に本製品のベースを固定し、カバーを取付けた後にリミットセンサドグの位置調整を行ってください。センサ仕様SK…Wには原点用センサ(オムロン㈱製E2S-W13B1M)が標準装備されています。原点用センサ位置とテーブル取付け穴との位置関係に精度規定はありませんので、原点復帰位置の微調整については、上位コントローラによるオフセット調整をご使用ください。リミットセンサ付き仕様の場合、リミットセンサ(オムロン㈱製E2S-W141M)と上面テーブルが追加されます。リミットセンサドグは位置調整が可能です。320度までの動作範囲を任意の位置で設定することができます。
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