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Points1●高精度回転案内部にIKOクロスローラベアリングを組込み、テーブル上面の振れ量は5μm以下を実現しています。3●設計工数削減テーブルには、装置のテーブルや検査対象物等を直接取り付けることが可能です。機構部品を使用して、一から回転ステージの設計をする手間を削減できます。SK…Wは、ウォームギア機構を採用した無限回転ステージです。IKOクロスローラベアリングを回転案内部に採用し、直接テーブルとすることで高精度な回転振れ、高剛性、低断面を実現しています。SK…Wにはリミットセンサなし仕様とリミットセンサ付き仕様をご用意しています。リミットセンサ付き仕様の場合、320度までの動作範囲を任意の位置で設定することができます。2●低断面・高剛性回転案内部にあらゆる方向に対して高剛性を発揮するIKOクロスローラベアリングを採用。更にクロスローラベアリングを直接テーブルとすることで低断面を実現しています。バリエーション回転ステージSK…Wの駆動機構ウォームギアモータ5μm以下テーブル振れテーブルや検査対象物を直接取り付けるだけ!低断面(リミットセンサなし仕様)30mmリミットセンサなし仕様原点用センサ、原点用センサドグ(センサ感知角度:約3度)カバーテーブル原点用センサ確認用切り欠きリミットセンサ付き仕様原点用センサ、原点用センサドグ(センサ感知角度:約3度)リミットセンサドグリミットセンサカバー上面テーブルリミットセンサドグリミットセンサⅡ332
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