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組合せ例■XY-θ多軸位置決め機構の構成アライメントテーブルATは、単軸仕様・多軸仕様のIKO精密位置決めテーブルと組み合わせることで、簡単にXY-θ多軸位置決め機構を構成することができます。組立高さが低くコンパクトで高精度な位置決めが可能なので、精密測定器・検査機・組立器などのアライメント用テーブルとして使用することができます。表6多軸位置決め機構の構成例多軸位置決め機構の外観アライメントテーブルATに組み合わせるIKO精密位置決めテーブルの形式精密位置決めテーブルTS・CT精密位置決めテーブルLH単軸仕様二軸仕様TS125/125TS125/220TS220/220TS220/310TS260/350CT125/125CT220/220CT260/350CT350/350TSLH120M単軸仕様TSLH220MTSLH320MTSLH420MCTLH120M二軸仕様CTLH220MCTLH320M単位mmストローク長さX軸Y軸501201201802505012015025050120250250100、150200250300150200、250、300400300400、500500600800100200200300300200300300400400300400400500500100100200200300200200300300400300300400400500Ⅱ330