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表5NT・・・XZ、NT・・・XZHの仕様・性能形式と大きさ項目NT80XZ4510NT90XZH2510X軸Z軸X軸Z軸最大推力(1)N502570定格推力(2)N102.5自冷:16空冷(6):20最大可搬質量kg0.10.2有効ストローク長さmm45102510分解能μm0.10.50.10.50.10.50.10.5最高速度(3)mm/s2701000(7)1300270800(7)8002701000(7)13002701000(7)1000繰返し位置決め精度(4)μm±0.5±0.5可動部質量kg0.6(8)0.120.380.35総質量(5)kg1.62.8使用周囲温度・湿度0～40℃・20～80%RH(結露しないこと)注(1)最大推力の持続時間は最大1秒です。(2)周囲温度20℃、金属製の相手部材に取り付けた場合です。(3)使用するコントローラの最高出力周波数、ドライバの種類・設定によっては、この最高速度に達しない場合があります。(4)製品本体の温度が一定の場合です。(5)コードの質量は含んでいません。(6)空気流量20NL/minのときです。(7)高速仕様に適用します。(8)Z軸の可動部質量を含みます。表4NT…Hの仕様・性能形式と大きさ項目NT88H25NT88H65最大推力(1)N25定格推力(2)N5最大可搬質量kg5有効ストローク長さmm2565分解能μm0.010.050.010.05最高速度(3)mm/s9040090400位置決め精度(4)μm1繰返し位置決め精度(5)μm±0.1運動平行度Aμm5姿勢精度(6)秒5垂直真直度・水平真直度μm1可動部質量kg0.70.9総質量(7)kg1.62使用周囲温度・湿度0～40℃・20～80%RH(結露しないこと)注(1)最大推力の持続時間は最大1秒です。(2)周囲温度20℃、金属製の相手部材に取り付けた場合です。(3)使用するコントローラの最高出力周波数、ドライバの種類・設定によっては、この最高速度に達しない場合があります。(4)周囲及び製品本体の温度が20℃の時の値です。(5)製品本体の温度が一定の場合です。(6)ピッチング及びヨーイングを示します。(7)コードの質量は含んでいません。Ⅱ253諸特性
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