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ナノリニア®NTは、ムービングマグネット方式の極めて断面高さの低いリニアモータテーブルです。可動テーブルの案内部には、小形直動案内機器の分野で定評のあるリニアウェイ、またはクロスローラウェイを使用し、リニアモータと高分解能リニアエンコーダの組合せにより高精度な位置決めを実現します。高性能ネオジム磁石の採用により大きな推力が得られるため、極めて小形でありながら高速・高応答な位置決めが可能です。また、可動ケーブルのない画期的な駆動方式の採用により、機械的接触部分は直動案内機器のみなので、高い清浄度を発揮します。ナノリニア®NTは、可動子にマグネットとリニアエンコーダ用スケールを、固定子に空心コイルとリニアエンコーダ用ヘッドをコンパクトに配置した構造です。右図に示すように、マグネットとコイルヨークによって常に垂直方向に働く磁束と、コイル電流によってコイルのまわりに発生する回転磁束とにより、コイルは水平方向に力を受けます(フレミングの左手の法則)。磁束の向きに応じた方向にコイルの電流を切り換えることで、一方向の連続した推力が得られ、可動子は直線運動を持続します。電流量による加速度制御とリニアエンコーダによるフィードバックにより、移動と正確な位置決めを行います。ナノリニアNTスペック一覧25725±0.525765±0.536825±0.536865±0.5368120±0.5スタンダードタイプNT···VNT55V25NT55V65NT80V25NT80V65NT80V120形式と大きさ断面形状有効ストローク長さmm分解能μm定格推力N55555最大可搬質量kg最大推力N繰返し位置決め精度μm551430.6100.50.1±0.530.8180.50.1±0.5500270500270NT38V10NT38V180.50.58016最高速度mm/s501045±0.5252.510±0.570自冷16空冷20自冷16空冷2025±0.57010±0.5ピック&プレイスユニットNT···XZ高精度タイプNT···HNT80XZ4510高推力ピック&プレイスユニットNT···XZHNT90XZH2510形式と大きさ断面形状有効ストローク長さmm分解能μm定格推力N-0.1-0.2最大可搬質量kg最大推力N繰返し位置決め精度μm25565±0.1±0.1NT88H655最高速度mm/s2588X軸Z軸X軸Z軸18153210185(168)16029.5260(268)29.5ナノリニアNTの動作原理テーブルの移動方向マグネットヨーク(可動子)マグネット(可動子)コイル(固定子)磁束コイルヨークコンパクトさを極めた先進のリニアモータテーブルNTシリーズ3826110.50.1130027010000.50.1130027010000.50.1130027010000.50.1130027010000.50.1130027010000.50.10.50.10.50.10.50.1130080080013002702700.05400NT88H250.01900.054000.01902701000100010001000270255525Ⅱ242
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