>> P.266
コンパクトさを極めた先進のリニアモータテーブルNTシリーズ!ナノリニア®NTは、ムービングマグネット方式の極めて断面高さの低いリニアモータテーブルです。可動テーブルの案内部には、小形直動案内機器の分野で定評のあるリニアウェイ、またはクロスローラウェイを使用し、リニアモータと高分解能リニアエンコーダの組合せにより高精度な位置決めを実現します。高性能ネオジム磁石の採用により大きな推力が得られるため、極めて小形でありながら高速・高応答な位置決めが可能です。また、可動ケーブルのない画期的な駆動方式の採用により、機械的接触部分は直動案内機器のみなので、高い清浄度を発揮します。ナノリニアNTスペック一覧NT30V8NT30V20NT38V10NT38V18スタンダードタイプNT···V形式と大きさ断面形状最大推力定格推力最大可搬質量有効ストローク長さ分解能最高速度繰返し位置決め精度μmNNkgmmμmmm/s1138260.5500.80.53018±0.50.55000.1270.60.53010±0.5NT80V65NT80V1200.55000.1270スタンダードタイプNT···VNT80V2530830.70.580.12700.5500±0.50.1270310.520±0.5形式と大きさNT55V25NT55V65高精度タイプNT···HNT88H25NT88H65ピック&プレイスユニットNT···XZNT80XZ4510高推力ピック&プレイスユニットNT···XZHNT90XZH251036851200.11000±0.50.51300168036856536852525756514552575250.10.50.10.50.10.50.10.52701000±0.5130027013002701000±0.513002701000±0.513002701000±0.5断面形状最大推力定格推力最大可搬質量有効ストローク長さ分解能最高速度繰返し位置決め精度μmNNkgmmμmmm/s(168)16029.5Z軸70自冷:16空冷:200.21029.5(268)260X軸70自冷:16空冷:20-250.58000.10.50.10.52701000±0.5130027010001000±0.5Ⅱ242153518Z軸252.50.1100.118210X軸5010-450.10.52701000±0.51300270800±0.52588形式と大きさ断面形状最大推力N定格推力N最大可搬質量有効ストローク長さ分解能最高速度繰返し位置決め精度μmkgmmμmmm/s2555252555650.01900.054000.01900.05400±0.1±0.1