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表7テーブルイナーシャと起動トルク形式と大きさTSLB90TSLB120TSLB170取付けテーブルイナーシャJT×10-5kg・m2194264起動トルクTSN・m0.30.50.6精密位置決めテーブルの取付面の加工精度や固定ねじの締付トルクについては、Ⅲ-35～Ⅲ-36ページをご参照ください。センサの仕様表8センサのタイミングチャートCWCCWAON原点OFF原点前OFFCCWリミットCWリミットメカストッパCDOFFストロ-ク長さ(E)(F)形式と大きさ90TSLBTSLB120TSLB170A120120160C505050D202020E13823備考各センサの詳細仕様については、総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。単位mmF10530Ⅱ234
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