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表5リニアエンコーダの記号リニアエンコーダの種類リニアエンコーダなしインクリメンタル型リニアエンコーダアブソリュート型リニアエンコーダ記号S0000SA000SC000SB010SB020SB040SB050SB100SB200SD010SD020SD040SD050SD100SD200SE050SF050SG050対応ACサーボモータ-㈱安川電機製Σ-7三菱電機㈱製J4(1)およびパナソニック㈱製MINASA6㈱安川電機製Σ-7三菱電機㈱製J4パナソニック㈱製MINASA6分解能[μm]-可変可変0.010.020.040.050.10.20.010.020.040.050.10.20.050.050.05リニアエンコーダ形式-ハイデンハイン㈱製LIF181Rレニショー㈱製TONiCハイデンハイン㈱製LIF181Rレニショー㈱製VIONiCレニショー㈱製RESOLUTE姿勢精度(2)秒56567677898911単位mmXY運動の直角度垂直真直度水平真直度0.0030.0040.0030.0040.0050.0040.0050.0050.0060.0080.0050.0060.008----0.0050.0100.0050.010Ⅱ152ストローク長さX軸Y軸繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーション(1)テーブル運動の平行度A100150200250300150200250300400300400500500600800100200200300200300300400100100200200200200300300±0.0005(±0.001)0.0010.003(0.006)0.004(0.008)0.003(0.006)0.0050.0060.005±0.0005(±0.001)0.004(0.008)0.0010.006±0.0005(±0.001)±0.0005(±0.001)±0.0005(±0.001)±0.0005(±0.001)0.005(0.013)0.004(0.008)0.005(0.013)0.005(0.013)0.006(0.016)0.008(0.020)0.005(0.007)0.005(0.010)0.006(0.010)0.008(0.010)0.0010.0010.0070.0060.0070.0070.0080.0090.0010.0080.0010.0090.011表6精度形式と大きさTX120MTX220MTX320MTX420MCTX120MCTX220M単軸仕様二軸仕様注(1)リニアエンコーダなしの時はバックラッシの値を示します。(2)ピッチング及びヨーイングを示します。備考()内はリニアエンコーダなしの時の値を示します。ドライバは、MR-J4-***-RJをご用意ください。注(1)備考1.SA000、SC000の分解能の可変の詳細は表7をご参照ください。2.リニアエンコーダの仕様は表11をご参照ください。諸特性
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