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表6精度単位mm形式と大きさストローク長さ繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーション(1)テーブル運動の平行度A姿勢精度(2)秒垂直真直度水平真直度XY運動の直角度X軸Y軸単軸仕様TX120M100±0.0005(±0.001)0.003(0.006)0.0010.00550.003-1502000.004(0.008)0.00660.004250300TX220M150±0.0005(±0.001)0.003(0.006)0.0010.00550.003-2000.004(0.008)0.00660.0042503004000.005(0.013)0.00770.005TX320M300±0.0005(±0.001)0.004(0.008)0.0010.00660.004-4000.005(0.013)0.00770.005500TX420M500±0.0005(±0.001)0.005(0.013)0.0010.00770.005-6000.006(0.016)0.00880.0068000.008(0.020)0.00990.008二軸仕様CTX120M100100±0.0005(±0.001)0.005(0.007)0.0010.00880.0050.0052001000.005(0.010)0.010200200300200CTX220M200200±0.0005(±0.001)0.006(0.010)0.0010.00990.0060.0053002000.0103003004003000.008(0.010)0.011110.008注(1)リニアエンコーダなしの時はバックラッシの値を示します。(2)ピッチング及びヨーイングを示します。備考()内はリニアエンコーダなしの時の値を示します。表5リニアエンコーダの記号リニアエンコーダの種類記号対応ACサーボモータ分解能[μm]リニアエンコーダ形式リニアエンコーダなしS0000---インクリメンタル型リニアエンコーダSA000㈱安川電機製Σ-7可変ハイデンハイン㈱製LIF181RSC000可変レニショー㈱製TONiCSB010三菱電機㈱製J4(1)およびパナソニック㈱製MINASA60.01ハイデンハイン㈱製LIF181RSB0200.02SB0400.04SB0500.05SB1000.1SB2000.2SD0100.01レニショー㈱製VIONiCSD0200.02SD0400.04SD0500.05SD1000.1SD2000.2アブソリュート型リニアエンコーダSE050㈱安川電機製Σ-70.05レニショー㈱製RESOLUTESF050三菱電機㈱製J40.05SG050パナソニック㈱製MINASA60.05注(1)ドライバは、MR-J4-***-RJをご用意ください。備考1.SA000、SC000の分解能の可変の詳細は表7をご参照ください。2.リニアエンコーダの仕様は表11をご参照ください。Ⅱ152諸特性
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