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高精密位置決めテーブルTXTX・・・MスライドテーブルリニアローラウェイボールねじリミットセンサCTX・・・MリニアエンコーダヘッドスケールYテーブルベッド主な製品仕様駆動直動案内機器潤滑部品の内蔵精密ボールねじリニアローラウェイ(ローラタイプ)潤滑部品「Cルーブ」内蔵テーブル・ベッドの材質鋳鉄センサ標準装備Ⅱ147Xテーブル精度単位mm繰返し位置決め精度±0.0005～0.0010位置決め精度ロストモーション0.003～0.0200.001テーブル運動の平行度A0.005～0.011テーブル運動の平行度B-姿勢精度真直度バックラッシ5～11秒0.003～0.008-
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