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高精密位置決めテーブルTX駆動直動案内機器潤滑部品の内蔵テーブル・ベッドの材質センサ繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ±0.0005～0.00100.003～0.0200.0010.005～0.011-5～11秒0.003～0.008-精密ボールねじリニアローラウェイ(ローラタイプ)潤滑部品「Cルーブ」内蔵鋳鉄標準装備ヘッドスケールベッドボールねじリミットセンサYテーブルXテーブルリニアローラウェイスライドテーブルリニアエンコーダTX・・・MCTX・・・M主な製品仕様精度単位mmⅡ147
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