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取付け精密位置決めテーブルの取付面の加工精度や固定ねじの締付トルクについては、Ⅲ-35～Ⅲ-36ページをご参照ください。センサの仕様表11.1センサのタイミングチャート(ジャバラなし)CWCCWABONCDOFFストローク長さ(E)(F)原点OFF原点前OFFCCWリミットCWリミットメカストッパ形式と大きさTSLH120MTSLH220MTSLH320MTSLH420Mボールねじのリード510510510510A50454545B510510510510C37373737D30303030E5.51412202018備考1.各センサの詳細仕様については総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。2.二軸仕様のテーブルは、各軸とも単軸仕様のテーブルと同一です。単位mmF4.51010151515Ⅱ130
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