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取付け精密位置決めテーブルの取付面の加工精度や固定ねじの締付トルクについては、Ⅲ-35～Ⅲ-36ページをご参照ください。センサの仕様表10センサのタイミングチャートCWCCWBAONCDOFFストローク長さ(E)(F)形式と大きさTSL90MTSL120MTSL170MTSL170SMTSL220Mボールねじのリード510510510510510A5060456060B510510510510510C3737373737備考各センサの詳細仕様については総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。原点OFF原点前OFFCCWリミットCWリミットメカストッパD2020202020E515355単位mmF515355Ⅱ107
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