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表10センサのタイミングチャート単位mm形式と大きさボールねじのリードABCDEFTSL90M55053205510107TSL120M5605320151510107TSL170M54553203310107TSL170SM56053205510107TSL220M56053205510107備考各センサの詳細仕様については総合解説のセンサ仕様の項をご参照ください。ONOFF原点原点前メカストッパCWリミットCCWリミットOFFABCDCCWCWOFFストローク長さ(F)(E)精密位置決めテーブルの取付面の加工精度や固定ねじの締付トルクについては、Ⅲ-35～Ⅲ-36ページをご参照ください。取付けⅡ107センサの仕様
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