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1000001000010001001010.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子濃度個/m3粒子径1000001000010001001010.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子濃度個/m3粒子径1000001000010001001010.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子濃度個/m3粒子径1000001000010001001010.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子濃度個/m3粒子径清浄度クラス3を実現!耐食性に優れたステンレスシート、サイドカバーにより、駆動部分やスライドテーブル案内部分を密閉。ステンレスシートはスライドテーブル内に設置された樹脂製ローラによりサイドカバーに押し付けられ、強力マグネットシートにて確実に吸着する構造を採用し、密閉された内部空間から空気を吸引することで、テーブル周辺への発じんを防ぎます。TC···EBクリーン精密位置決めテーブルTCクラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス1上限測定値クラス2上限クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス1上限クラス2上限TC50EB150(ボールねじのリード:4mm)1000001000010001001010.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子濃度個/m3粒子径ストローク速度吸引量:50mm:200mm/s:5L/minTC50EB300(ボールねじのリード:8mm)1000001000010001001010.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子濃度個/m3粒子径ストローク速度吸引量:200mm:400mm/s:10L/minTC60EB300(ボールねじのリード:10mm)ストローク速度吸引量:200mm:500mm/s:30L/minTC60EB600(ボールねじのリード:10mm)ストローク速度吸引量:500mm:500mm/s:30L/minTC86EB640(ボールねじのリード:20mm)ストローク速度吸引量:200mm:1000mm/s:70L/minTC86EB940(ボールねじのリード:20mm)ストローク速度吸引量:800mm:560mm/s:40L/minクラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限クラス1上限測定値クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限測定値クラス1上限クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限クラス1上限測定値クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限クラス1上限測定値測定値クリーン環境の用途ならⅠ22
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