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クリーン環境の用途ならクリーン精密位置決めテーブルTCTC···EB清浄度クラス3を実現!耐食性に優れたステンレスシート、サイドカバーにより、駆動部分やスライドテーブル案内部分を密閉。ステンレスシートはスライドテーブル内に設置された樹脂製ローラによりサイドカバーに押し付けられ、強力マグネットシートにて確実に吸着する構造を採用し、密閉された内部空間から空気を吸引することで、テーブル周辺への発じんを防ぎます。TC50EB150(ボールねじのリード:4mm)ストローク度速吸量引:50mm:200mm/s:5L/minTC50EB300(ボールねじのリード:8mm)ストローク度速吸量引:200mm:400mm/s:10L/minクラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限クラス1上限測定値0.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子径100000100001000100101粒子濃度個/m3クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限クラス1上限測定値0.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子径100000100001000100101粒子濃度個/m3クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限測定値クラス1上限0.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子径100000100001000100101粒子濃度個/m3クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限測定値クラス1上限0.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子径100000100001000100101粒子濃度個/m3クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限測定値クラス1上限0.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子径Ⅰ22100000100001000100101粒子濃度個/m3クラス5上限クラス4上限クラス3上限測定値クラス2上限クラス1上限0.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子径100000100001000100101粒子濃度個/m3TC86EB640(ボールねじのリード:20mm)ストローク度速吸量引:200mm:1000mm/s:70L/minTC86EB940(ボールねじのリード:20mm)ストローク度速吸量引:800mm:560mm/s:40L/minTC60EB300(ボールねじのリード:10mm)ストローク度速吸量引:200mm:500mm/s:30L/minTC60EB600(ボールねじのリード:10mm)ストローク度速吸量引:500mm:500mm/s:30L/min
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