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超高精度リニアエンコーダの搭載により、高い位置決め精度と分解能を保証!CルーブリニアローラウェイスーパーXの採用により、究極の走行性能を実現。超高分解能リニアエンコーダによるフルクローズドループ制御を構成し、ストローク全域において高い位置決め精度を保証しています。試料:CTX220M-4030X軸Y軸100200300400ストロークmm10.05.00.0-5.0-10.0位置決め精度μm高い姿勢精度を実現!高精度に加工した部品とラック&ピニオン内蔵形クロスローラウェイを組み合わせることにより、姿勢精度5秒以下を実現しています。移動による姿勢の変化が極めて少なく、位置の再現性に優れています。姿勢精度:5秒以下ピッチング30ヨーイング姿勢精度秒0-3001020304050ストロークmmナノリニア®NTNT···HⅠ19進化を続ける位置決め機構②高精度を狙うなら高精密位置決めテーブルTXTX···M、CTX···M
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