IKO_CAT-1606_MECHATRO_JP


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形式・サイズバリエーション②多彩な形式・豊富なバリエーション高精密位置決めテーブルTXTX···M(単軸仕様)CTX···M(二軸仕様)ボールねじ駆動直線●転がり案内タイプで究極の位置決め性能を実現●超高精度リニアエンコーダ搭載のフルクローズドループ制御で高精度●用途に合わせて選べる制御方式●Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様仕様形式と大きさTX120MTX220MTX320MTX420MCTX120MCTX220M最大ストローク(mm)最高速度(mm/s)ボールねじリード(mm)300400500800300×200400×3005005004484485005005、105、105、105、105、105、10精度繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシⅡ‒146ページへクリーン精密位置決めテーブルTCTC···EBボールねじ駆動直線要求される環境下での使用に最適●半導体・液晶関連製造装置など、高い清浄度が●軽量・低断面・コンパクトな位置決めテーブル●清浄度クラス3に対応●Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様精度ボールねじリード繰返し位置決め精度(mm)4、85、1010、20位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシⅡ‒168ページへ形式と大きさTC50EBTC60EBTC86EB最大ストローク(mm)最高速度(mm/s)2005008004005001000仕様Ⅰ9


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