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形式と大きさTX120MTX220MTX320MTX420MCTX120MCTX220M300400500800300×200400×3005、105、105、105、105、105、10500500448448500500最大ストローク(mm)最高速度(mm/s)ボールねじリード(mm)繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ精度形式・サイズバリエーション②多彩な形式・豊富なバリエーション高精密位置決めテーブルTXTX···M(単軸仕様)CTX···M(二軸仕様)クリーン精密位置決めテーブルTCTC···EB●半導体・液晶関連製造装置など、高い清浄度が要求される環境下での使用に最適●軽量・低断面・コンパクトな位置決めテーブル●清浄度クラス3に対応●Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様●転がり案内タイプで究極の位置決め性能を実現●超高精度リニアエンコーダ搭載のフルクローズドループ制御で高精度●用途に合わせて選べる制御方式●Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様形式と大きさTC50EBTC60EBTC86EB2005008004、85、1010、204005001000最大ストローク(mm)最高速度(mm/s)ボールねじリード(mm)繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ精度ボールねじ駆動ボールねじ駆動直線直線仕様仕様ページへⅡ‒146ページへⅡ‒168Ⅰ9
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