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ナノリニア®NT●コンパクト化を徹底的に追求●NT30Vは断面高さわずか8mmの超低断面●用途に合わせて最適な選択が可能な豊富なバリエーションリニアモータ駆動直線Ⅱ-228NT…VNT…HNT…XZNT…XZHリニアモータテーブルLT●高速・高分解能を両立●高加減速・高応答で滑らかな作動●Cルーブ内蔵長期メンテナンスフリー仕様リニアモータ駆動直線Ⅱ-240Ⅱ-290精密位置決めテーブルLB●タイミングベルト駆動の高速タイプ●リニアウェイの並列使用で安定した高い走行性能タイミングベルト駆動直線TSLBアライメントステージSA●●XYθ3軸を組み合わせた断面高さがわずか52mm(SA65DE)XY軸:0.1μm、θ軸:0.25秒の高分解能(SA200DE)リニアモータ駆動アライメント直線SA…DEアライメントテーブルAT●高精度な位置決めで精密角度補正が可能●クロスローラベアリングの採用で高剛性・コンパクトⅡ-272LT…CELT…LDLT…HLT…H2回転ステージSK●クロスローラベアリングの採用で高剛性・コンパクト●高精度でなめらかな位置決めが可能●テーブルや検査対象物を直接取り付けることで、設計工数の削減を実現ウォームギア駆動回転ボールねじ駆動アライメントATアライメントモジュールAM●用途に合わせて自由にステージを設計可能●高さ寸法の許容差を±10μmに管理ボールねじ駆動アライメントAMⅡ-324SK…WⅡ-336精密昇降テーブルTZ●独自のくさび機構により、コンパクトで高精度な上下方向の●位置決めが可能TZ···Xは、CルーブリニアローラウェイスーパーXを採用し、高精度・高剛性を実現ボールねじ駆動上下Ⅱ-344TZ…HTZ…XⅡ-358パラレルドライブステージ®PD●ボールねじ駆動のXYステージとして極めて低い断面高さを実現●独自の構造により可動部の配線やケーブルベアは不要、省スペースと良好な作業性を両立ボールねじ駆動XY方向PD…SⅡ-372Ⅰ6
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