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直線直線タイミングベルト駆動直線リニアモータ駆動アライメントリニアモータ駆動直線リニアモータ駆動アライメントボールねじ駆動精密位置決めテーブルLB●タイミングベルト駆動の高速タイプ●リニアウェイの並列使用で安定した高い走行性能アライメントテーブルAT●高精度な位置決めで精密角度補正が可能●クロスローラベアリングの採用で高剛性・コンパクトⅡ-352精密昇降テーブルTZ●独自のくさび機構により、コンパクトで高精度な上下方向の位置決めが可能●TZ···Xは、CルーブリニアローラウェイスーパーXを採用し、高精度・高剛性を実現TZ…HTZ…X上下ボールねじ駆動Ⅱ-330回転ステージSK●クロスローラベアリングの採用で高剛性・コンパクト●高精度でなめらかな位置決めが可能●テーブルや検査対象物を直接取り付けることで、設計工数の削減を実現SK…WⅡ-338アライメントモジュールAM●用途に合わせて自由にステージを設計可能●高さ寸法の許容差を±10μmに管理AMアライメントボールねじ駆動回転ウォームギア駆動Ⅱ-318Ⅱ-228Ⅱ-240Ⅱ-272Ⅱ-290ナノリニア®NT●コンパクト化を徹底的に追求●NT38Vは断面高さわずか11mmの超低断面●用途に合わせて最適な選択が可能な豊富なバリエーションアライメントステージSA●XYθ3軸を組み合わせた断面高さがわずか52mm(SA65DE)●XY軸:0.1μm、θ軸:0.25秒の高分解能(SA200DE)リニアモータテーブルLT●高速・高分解能を両立●高加減速・高応答で滑らかな作動●Cルーブ内蔵長期メンテナンスフリー仕様TSLBSA…DEATLT…LDLT…CELT…HNT…HNT…VNT…XZHNT…XZⅠ6
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