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表4规格型号及大小尺寸楔形减速比滚珠丝杠导程mm分解能(1)μm/pulse行程长度mmTZ120X21:242.0(0.1)10TZ120X41:41.0(0.1)5TZ200H-21:252.5(0.1)24TZ200H-41:41.25(0.1)12TZ200X21:22.5(0.1)24TZ200X41:41.25(0.1)12注(1)电机的分度数表示1000pulse/rev时的值。备注)内表示选择由松下(株)制造的带线性编码器的MINASA5系统时的值。表5精度单位mm型号及大小尺寸楔形减速比重复定位精度定位精度无效运动工作台升降时的平行度工作台升降时的垂直度TZ120X-21:2±0.001-(0.005)0.0010.0100.010TZ120X-41:4TZ200H-21:2±0.001-(0.005)---TZ200H-41:4TZ200X-21:2±0.001-(0.005)0.0010.0100.010TZ200X-41:4备注()内表示带线性编码器时的值。表6最高速度型号及大小尺寸楔形减速比滚珠丝杠导程mm最高速度mm/sAC伺服电机步进电机TZ120X-21:2410060TZ120X-41:45030TZ200H-21:2512575TZ200H-41:462.537.5TZ200X-21:212575TZ200X-41:462.537.5备注实际的最高速度需要根据使用的电机和负载条件等相应的运行模式来探讨。Ⅱ-357诸特性
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