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产品群校准工作台AT的驱动机构形状型号及大小尺寸AT200AT300AT120工作台的直径(mm)200300120动作角度范围(度)±10±5使用了校准工作台AT的多轴构成例与工作台中央的距离L单位mm公称型号AT300AT200AT120L186130100工作台的直径1●将直线运动转换为旋转运动的旋转定位工作台该定位工作台使用由直线导轨和滚珠丝杠组合而成的旋转机构,通过将直线运动转换为旋转运动,可实现精密的角度补偿。使用高刚性的钢制工作台和底座,在支撑工作台的轴承中装入了交叉滚子轴承。2●低断面设计实现了高刚性采用在各方向均能发挥高刚性的交叉滚子轴承,实现了低断面、高刚性和高精度。在滚珠丝杠的驱动下,与工作台外周面连接的旋转机构在直线方向上往返运动,从而驱动AT。为了调整与工作台中央(因旋转机构的移动而变化)的距离L和角度,旋转机构的内部装有根据工作台角度而从动的直线及旋转运动机构。因此,AT即使以相同间距移动旋转机构,工作台的旋转角度也会因位置而不同,即使等速移动,其旋转速度也不会保持恒定。3●重复定位精度为±1秒将直线运动转换为圆周运动的旋转装置,通过直线导轨L与精密滚珠丝杠的组合正确导向,实现了±1秒的高重复定位精度。4●可作为多轴构成的校准工作台使用可设置在精密定位工作台LH的滑台上,构成高度尺寸较低的XY-θ多轴定位机构。Points旋转机构滚珠丝杠Ⅱ-320
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