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表5NT…XZ、NT…XZH的规格、性能型号及大小尺寸项目NT80XZ4510NT90XZH2510X轴Z轴X轴Z轴最大推力(1)N502570额定推力(2)N102.5自冷:16风冷(6):20最大可搬质量kg0.10.2有效行程长度mm45102510分解能μm0.10.50.10.50.10.50.10.5最高速度(3)mm/s2701000(7)1300270800(7)8002701000(7)13002701000(7)1000重复定位精度(4)μm±0.5±0.5可动部质量kg0.6(8)0.120.380.35总质量(5)kg1.62.8工作环境温度、湿度0～40℃、20～80%RH(不结露)注(1)最大推力的持续时间最长为1秒。(2)环境温度为20℃,安装于金属制配合部件时。(3)根据实际的装载质量和行程长度,也存在达不到最高速度的情况,需要探讨运转模式。具体可参考运转模式的探讨该章节。(4)产品主体的温度恒定时。(5)不含电线质量。(6)空气流量为20NL/min时。(7)适用于高速规格。(8)含Z轴的可动部质量。表4NT…H的规格、性能型号及大小尺寸项目NT88H25NT88H65最大推力(1)N25额定推力(2)N5最大可搬质量kg5有效行程长度mm2565分解能μm0.010.050.010.05最高速度(3)mm/s9040090400定位精度(4)μm1重复定位精度(5)μm±0.1运动平行度Aμm5姿势精度(6)秒5垂直直线度、水平直线度μm1可动部质量kg0.70.9总质量(7)kg1.62工作环境温度、湿度0～40℃、20～80%RH(不结露)注(1)最大推力的持续时间最长为1秒。(2)环境温度为20℃,安装于金属制配合部件时。(3)根据实际的装载质量和行程长度,也存在达不到最高速度的情况,需要探讨运转模式。具体可参考运转模式的探讨该章节。(4)环境及产品主体的温度为20℃时的值。(5)产品主体的温度恒定时。(6)表示俯仰及摇摆。(7)不含电线质量。Ⅱ-253诸特性
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