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底座内置齿轨&齿轮型交叉滚子直线导轨定子线圈线性编码器用光栅尺30姿势精度:5秒以内俯仰摇摆-3001020304050位置mm10mm/s速度稳定性(测量频率:1,000Hz):±1%以下1110.810.610.410.2109.89.69.49.2050时间s行走直线度:1μm以下位置mm姿势精度秒速度mm/s直线度误差μm0●姿势精度高通过组合高精度加工的零部件和齿条&齿轮内置型交叉滚子直线导轨,实现了5秒以下的姿势精度。因移动引起的姿势变化极少,位置的再现性优异。●速度稳定性高通过动作顺畅的交叉滚子直线导轨、无芯动磁铁型直线电机、高性能伺服驱动器,进一步提高了速度稳定性。●行走精度高通过对构件进行高精度加工和组装,实现了直线度1μm以下的高行走精度。Points123Ⅱ-245纳米直线电机TMNTNT⋯H[高精度型]NT⋯H是将圆柱滚子型的内置齿轨&齿轮型交叉滚子直线导可动工作台轨用于工作台导向部,通过1μm以下的定位精度和行走直线线性编码器用读取头度,实现高刚性和顺畅动作(无作用于空气静压轴承的脉动)动子磁铁的高精度直线电机工作台。
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