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123[高精度型]NT⋯H是将圆柱滚子型的内置齿轨&齿轮型交叉滚子直线导轨用于工作台导向部,通过1μm以下的定位精度和行走直线度,实现高刚性和顺畅动作(无作用于空气静压轴承的脉动)的高精度直线电机工作台。Points●姿势精度高●速度稳定性高●行走精度高直线度误差μm5位置mm0行走直线度:1μm以下位置mm姿势精度秒300-301020304050俯仰摇摆姿势精度:5秒以内0速度mm/s11时间s010.810.610.410.2109.89.69.49.210mm/s速度稳定性(测量频率:1,000Hz):±1%以下通过组合高精度加工的零部件和齿条&齿轮内置型交叉滚子直线导轨,实现了5秒以下的姿势精度。因移动引起的姿势变化极少,位置的再现性优异。通过动作顺畅的交叉滚子直线导轨、无芯动磁铁型直线电机、高性能伺服驱动器,进一步提高了速度稳定性。通过对构件进行高精度加工和组装,实现了直线度1μm以下的高行走精度。NT⋯H纳米直线电机NT内置齿轨&齿轮型交叉滚子直线导轨线性编码器用读取头线性编码器用光栅尺底座定子线圈可动工作台动子磁铁Ⅱ-245
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