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纳米直线电机NT为采用磁动方式的截面高度极低的直线电机工作台。可动工作台的导向部采用小型直线导轨设备领域评价颇高的直线导轨或交叉滚子直线导轨,通过搭配直线电机和高分解能线性编码器,实现了高精度定位。通过采用高性能钕磁石,可获得大推力,虽然是极小型,也可实现高速、高响应性定位。此外,采用无可动电线的划时代驱动方式,机械接触部分只有直线导轨设备,因此可实现高洁净度。纳米直线电机NT采用在动子中配置磁铁和线性编码器用光栅尺,在定子中配置空心线圈和线性编码器用读取头的紧凑型结构。如右图所示,通过磁铁和线圈轭铁始终作用在垂直方向上的磁通,以及通过线圈电流在线圈周围产生的旋转磁通,使线圈承受水平方向的作用力(弗莱明左手定律)。通过将线圈电流切换到与磁通朝向相应的方向,可获得单向连续推力,使动子持续进行直线运动。通过电流量进行的加速度控制和线性编码器的反馈,进行移动和正确定位。纳米直线电机NT规格一览表25725±0.525765±0.536825±0.536865±0.5368120±0.5标准型NT⋯VNT55V25NT55V65NT80V25NT80V65NT80V120型号及大小尺寸截面形状有效行程长度mm分解能μm额定推力N55555最大可搬质量kg最大推力N重复定位精度μm551430.6100.50.1±0.530.8180.50.1±0.5500270500270NT38V10NT38V180.50.58016最高速度(1)mm/s501045±0.5252.510±0.570自冷:16风冷:20自冷:16风冷:2025±0.57010±0.5拾取&定位单元NT⋯XZ高精度型NT⋯HNT80XZ4510高推力拾取&定位单元NT⋯XZHNT90XZH2510型号及大小尺寸截面形状有效行程长度mm分解能μm额定推力N-0.1-0.2最大可搬质量kg最大推力N重复定位精度μm25565±0.1±0.1NT88H655最高速度(1)mm/s2588X轴Z轴X轴Z轴18153210185(168)16029.5260(268)29.5纳米直线电机NT的动作原理工作台的移动方向磁轭(动子)磁铁(动子)线圈(定子)磁通线圈轭铁无比紧凑的先进直线电机工作台NT系列!3826110.50.1130027010000.50.1130027010000.50.1130027010000.50.1130027010000.50.1130027010000.50.10.50.10.50.10.50.1130080080013002702700.05400NT88H250.01900.054000.01902701000100010001000270255525注(1)根据实际的装载质量和行程长度,也存在达不到最高速度的情况,需要探讨运转模式。具体可参考运转模式的探讨该章节。注(1)根据实际的装载质量和行程长度,也存在达不到最高速度的情况,需要探讨运转模式。具体可参考运转模式的探讨该章节。Ⅱ-242
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