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重复定位精度定位精度工作台运动的平行度A工作台运动的平行度BXY运动的垂直度(1)(2)单位 mm0.0050.0100.0050.0080.0050.0150.0050.0150.0080.0200.008导程1mm5030最高速度 mm/s导程2mm10060导程5mm250150诸特性 表4 精度公称型号单轴规格双轴规格TS 55/ 55--CT 55/ 55TS 75/ 75CT 75/ 75TS125/125CT125/125TS125/220-±0.002TS220/220CT220/220TS220/310-TS260/350CT260/350-CT350/350注(1) (2) 适用于双轴规格的工作台。不含直线度成分。表5 最高速度电机的种类AC伺服电机步进电机备注 实际的最高速度需要根据使用的电机和负载条件等探讨运行模式。Ⅱ-209