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表6精度单位mm型号及大小尺寸行程长度重复定位精度定位精度无效运动(1)工作台运动的平行度A姿势精度(2)秒垂直直线度水平直线度XY运动的垂直度X轴Y轴单轴规格TX120M100±0.0005(±0.001)0.003(0.006)0.0010.00550.003-1502000.004(0.008)0.00660.004250300TX220M150±0.0005(±0.001)0.003(0.006)0.0010.00550.003-2000.004(0.008)0.00660.0042503004000.005(0.013)0.00770.005TX320M300±0.0005(±0.001)0.004(0.008)0.0010.00660.004-4000.005(0.013)0.00770.005500TX420M500±0.0005(±0.001)0.005(0.013)0.0010.00770.005-6000.006(0.016)0.00880.0068000.008(0.020)0.00990.008双轴规格CTX120M100100±0.0005(±0.001)0.005(0.007)0.0010.00880.0050.0052001000.005(0.010)0.010200200300200CTX220M200200±0.0005(±0.001)0.006(0.010)0.0010.00990.0060.0053002000.0103003004003000.008(0.010)0.011110.008注(1)无线性编码器时表示背隙值。(2)表示俯仰及摇摆。备注()内表示无线性编码器时的值。Ⅱ-152诸特性表5线性编码器的标记线性编码器的种类标记支持的AC伺服电机分解能[μm]线性编码器型号无线性编码器S0000---增量型线性编码器SA000(株)安川电机制Σ-7可变海德汉(株)制LIF181RSC000可变雷尼绍(株)制TONiCSB010三菱电机(株)制J4(1)及松下(株)制MINASA60.01海德汉(株)制LIF181RSB0200.02SB0400.04SB0500.05SB1000.1SB2000.2SD0100.01雷尼绍(株)制VIONiCSD0200.02SD0400.04SD0500.05SD1000.1SD2000.2绝对值型线性编码器SE050(株)安川电机制Σ-70.05雷尼绍(株)制RESOLUTESF050三菱电机(株)制J40.05SG050松下(株)制MINASA60.05注(1)驱动器请准备MR-J4-***-RJ。备注1.SA000、SC000的分解能可变的详情请参照表7。2.线性编码器的规格请参照表11。
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