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高精密定位工作台TX驱动直线导轨设备内置润滑部件工作台、底座的材质传感器重复定位精度定位精度无效运动工作台运动的平行度A工作台运动的平行度B姿势精度直线度背隙±0.0005～0.00100.003～0.0200.0010.005～0.011—5～11秒0.003～0.008—精密滚珠丝杠圆柱滚子直线导轨(圆柱滚子型)内置“C-Lube”自润滑部件铸铁标配Y工作台X工作台TX⋯MCTX⋯M主要产品规格精度单位mm滚珠丝杠直线读取头光栅尺底座圆柱滚子直线导轨限位传感器滚珠丝杠滑台线性编码器Ⅱ-147
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