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高精密定位工作台TXTX⋯M滑台滚珠丝杠圆柱滚子直线导轨限位传感器滚珠丝杠直线线性编码器读取头光栅尺Y工作台底座CTX⋯MX工作台主要产品规格精度驱动直线导轨设备内置润滑部件精密滚珠丝杠重复定位精度±0.0005～0.0010圆柱滚子直线导轨(圆柱滚子型)内置“C-Lube”自润滑部件定位精度无效运动0.003～0.0200.001单位mm工作台、底座的材质传感器铸铁标配Ⅱ-147工作台运动的平行度A0.005～0.011工作台运动的平行度B—姿势精度直线度背隙5～11秒0.003～0.008—
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