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表4精度单位mm型号及大小尺寸行程长度重复定位精度定位精度工作台运动的平行度B背隙TSL90M50±0.0020.0150.0200.0031000.0200.0301502000.0252503000.0300.040TSL120M100±0.0020.0200.0300.0031502000.0252503000.0300.0404000.0400.0505000.0456000.0500.070TSL170M150±0.0020.0200.0300.0032000.0252503000.0300.0504000.0405000.045TSL170SMTSL220M300±0.0020.0300.0400.0034000.0400.0505000.0456000.0500.07080010000.060表5最高速度电机的种类型号及大小尺寸行程长度mm最高速度mm/s导程5mm导程10mmAC伺服电机TSL90M-5001000TSL120M500以下370750600370720TSL170M-370750TSL170SM800以下280560TSL220M1000190390步进电机TSL90MTSL120MTSL170MTSL170SMTSL220M-150300备注实际的最高速度需要根据使用的电机和负载条件等探讨运行模式。Ⅱ-103诸特性