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要想用于洁净环境洁净精密定位工作台TCTC⋯EB实现了3级清洁度!通过耐腐蚀性出色的不锈钢板和侧盖,对驱动部分和滑台导向部分进行了密封。不锈钢板通过设置在滑台内的树脂制滚子被顶在侧盖上,采用通过强力磁板牢固吸附的结构,从密闭的内部空间吸引空气,有效防止滑台对周围散发尘埃。Ⅰ-22TC50EB150(滚珠丝杠的导程:4mm)行速吸程:50mm度:200mm/s引量:5L/minTC50EB300(滚珠丝杠的导程:8mm)行速吸程:200mm度:400mm/s引量:10L/min最高5级最高4级最高3级最高2级最高1级测量值100000100001000100101粒子浓度个/m3最高5级最高4级最高3级最高2级最高1级测量值100000100001000100101粒子浓度个/m30.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上0.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子直径粒子直径TC60EB300(滚珠丝杠的导程:10mm)行速吸程:200mm度:500mm/s引量:30L/minTC60EB600(滚珠丝杠的导程:10mm)行速吸程:500mm度:500mm/s引量:30L/min最高5级最高4级最高3级最高2级测量值最高1级100000100001000100101粒子浓度个/m3最高5级最高4级最高3级最高2级测量值最高1级100000100001000100101粒子浓度个/m30.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上0.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子直径粒子直径TC86EB640(滚珠丝杠的导程:20mm)行速吸程:200mm度:1000mm/s引量:70L/minTC86EB940(滚珠丝杠的导程:20mm)行速吸程:800mm度:560mm/s引量:40L/min0.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上0.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子直径粒子直径最高5级最高4级最高3级最高2级测量值最高1级100000100001000100101粒子浓度个/m3最高5级最高4级最高3级测量值最高2级最高1级100000100001000100101粒子浓度个/m3
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