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1000001000010001001010.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子浓度个/m3粒子直径1000001000010001001010.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子浓度个/m3粒子直径1000001000010001001010.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子浓度个/m3粒子直径1000001000010001001010.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子浓度个/m3粒子直径实现了3级清洁度!通过耐腐蚀性出色的不锈钢板和侧盖,对驱动部分和滑台导向部分进行了密封。不锈钢板通过设置在滑台内的树脂制滚子被顶在侧盖上,采用通过强力磁板牢固吸附的结构,从密闭的内部空间吸引空气,有效防止滑台对周围散发尘埃。TC⋯EB洁净精密定位工作台TC最高5级最高4级最高3级最高1级测量值最高2级最高5级最高4级最高3级最高1级最高2级TC50EB150(滚珠丝杠的导程:4mm)1000001000010001001010.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子浓度个/m3粒子直径行程速度吸引量:50mm:200mm/s:5L/minTC50EB300(滚珠丝杠的导程:8mm)1000001000010001001010.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子浓度个/m3粒子直径行程速度吸引量:200mm:400mm/s:10L/minTC60EB300(滚珠丝杠的导程:10mm)行程速度吸引量:200mm:500mm/s:30L/minTC60EB600(滚珠丝杠的导程:10mm)行程速度吸引量:500mm:500mm/s:30L/minTC86EB640(滚珠丝杠的导程:20mm)行程速度吸引量:200mm:1000mm/s:70L/minTC86EB940(滚珠丝杠的导程:20mm)行程速度吸引量:800mm:560mm/s:40L/min最高5级最高4级最高3级最高2级最高1级测量值最高5级最高4级最高3级最高2级测量值最高1级最高5级最高4级最高3级最高2级最高1级测量值最高5级最高4级最高3级最高2级最高1级测量值测量值要想用于洁净环境Ⅰ-22
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