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通过配备超高精度线性编码器,保证了高定位精度和高分解能!通过采用C-Lube自润滑圆柱滚子直线导轨超级X,实现了出色的行走性能。利用超高分解能线性编码器构成全闭环控制,保证了整个行程范围内的高定位精度。试件:CTX220M-4030X轴Y轴100200300400行程mm10.05.00.0-5.0-10.0定位精度μm实现高姿势精度!通过组合高精度加工的零部件和齿条&齿轮内置型交叉滚子直线导轨,实现了5秒以下的姿势精度。因移动引起的姿势变化极少,位置的再现性出色。30姿势精度:5秒以下俯仰摇摆姿势精度秒0-3001020304050行程mm纳米直线电机TMNTNT⋯HⅠ-19持续改进的定位机构②要想追求高精度高精密定位工作台TXTX⋯M、CTX⋯M