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型号及大小尺寸最大行程(mm)最高速度(mm/s)滚珠丝杠导程(mm)TZ120XTZ200HTZ200X102424100125125455精度重复定位精度定位精度无效运动工作台运动的平行度A工作台运动的平行度B姿势精度直线度背隙精密升降工作台TZTZ滚珠丝杠驱动直线● 利用创新的楔形结构,可实现紧凑、高精度的上下方向定位● TZ⋯X采用C-Lube自润滑圆柱滚子直线导轨超级X,实现了高精度、高刚性● 可安装线性编码器● 内置C-Lube自润滑部件,长期免维护● 2种减速比已实现系列化Ⅱ-364页滚珠丝杠驱动XY方向平行驱动工作台TMPDPD…S● 与滚珠丝杠驱动的XY工作台相比,实现了极低的断面高度● 通过可动部的无电线化,可以有效利用周边空间,由于只在电机侧布设电线,配线处理更简单,同时也有利于节省空间● 内置C-Lube自润滑零件,长期免维护● 可变更尺寸或增加特殊规格等,灵活满足客户的需求精度重复定位精度定位精度无效运动工作台运动的平行度A工作台运动的平行度B姿势精度直线度背隙Ⅱ-378页Ⅰ-16规格UXVY规格型号及大小尺寸有效行程(mm)最高速度(mm/s)滚珠丝杠导程(mm)X、Y方向U、V方向X、Y方向U、V方向PD70S± 10± 750351
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