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型号及大小尺寸AM25AM40AM60AM863030901204455130180290390最大行程(mm)滑轨的长度(mm)滚珠丝杠导程(mm)精度滚珠丝杠驱动AM●可根据用途自由设计工作台●高度尺寸容许公差控制在±10μm●可实现丰富的XYθ定位动作●适用于大型装置●高精度、高刚性、高可靠性校准模块AMTZ精密升降工作台TZ型号及大小尺寸TZ120XTZ200HTZ200X102424455100125125最大行程(mm)最高速度(mm/s)滚珠丝杠导程(mm)精度滚珠丝杠驱动重复定位精度定位精度无效运动工作台运动的平行度A工作台运动的平行度B姿势精度直线度背隙重复定位精度定位精度无效运动工作台运动的平行度A工作台运动的平行度B姿势精度直线度背隙校准直线规格规格页Ⅱ-338页Ⅱ-352●利用创新的楔形结构,可实现紧凑、高精度的上下方向定位●TZ⋯X采用C-Lube自润滑圆柱滚子直线导轨超级X,实现了高精度、高刚性●可安装线性编码器●内置C-Lube自润滑部件,长期免维护●2种减速比已实现系列化Ⅰ-16