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型号、尺寸介绍④丰富的型号及产品群校准工作台SASA⋯DE直线电机驱动直线校准● 组合了XYθ3轴的断面高度仅52mm的薄型、紧凑型(SA65DE)● XY轴:0.1μm、θ轴:0.36秒的高分解能(SA120DE)● XYθ可任意搭配规格型号及大小尺寸SA 65 DE/XSA 120 DE/XSA 200 DE/XSA 65 DE/SSA 120 DE/SSA 200 DE/S最大行程最大动作角度 10 mm)20 mm)20 mm)50 度)60 度)280 度)最高速度(1)分解能500(mm/s)800(mm/s)800(mm/s)720(度/s)400(度/s)270(度/s)0.1、0.5(μm)0.1、0.5(μm)0.1、0.5(μm)0.64(秒)0.36(秒)0.25(秒)精度重复定位精度定位精度无效运动工作台运动的平行度A工作台运动的平行度B姿势精度直线度背隙注(1) 根据实际的装载质量和行程长度,也存在达不到最高速度的情况,需要探讨运转模式。具体可参考运转模式的探讨章节。Ⅱ-276页Ⅰ-13
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