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型号及大小尺寸SA65DE/XSA120DE/XSA200DE/XSA65DE/SSA120DE/SSA200DE/S10(mm)20(mm)20(mm)50(度)60(度)280(度)0.1、0.5(μm)0.1、0.5(μm)0.1、0.5(μm)0.64(秒)0.36(秒)0.25(秒)500(mm/s)800(mm/s)800(mm/s)720(度/s)400(度/s)270(度/s)最大行程最大动作角度最高速度(1)分解能SA⋯DE型号、尺寸介绍④丰富的型号及产品群校准工作台SA精度直线电机驱动重复定位精度定位精度无效运动工作台运动的平行度A工作台运动的平行度B姿势精度直线度背隙校准直线规格页Ⅱ-272●组合了XYθ3轴的断面高度仅52mm的薄型、紧凑型(SA65DE)●XY轴:0.1μm、θ轴:0.36秒的高分解能(SA120DE)●XYθ可任意搭配注(1)根据实际的装载质量和行程长度,也存在达不到最高速度的情况,需要探讨运转模式。具体可参考运转模式的探讨该章节。Ⅰ-13
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