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上級(H)精密級(P)超精密級(SP)超超精密級(UP)50010001500200025003000トラックレールの長さLmm図1走行時の平行度403020100平行度μm上級精密級超精密級超超精密級:H:P:SP:UPフリーコンビネーション仕様のときは、スライドユニットとトラックレールは同じ精度等級を組み合わせてください。精度等級の詳細は、表5をご参照ください。適用する精度等級は、表6をご参照ください。-精度の等級-8精度の等級表5許容差及び許容値CHADNB等級(等級記号)項目Hの寸法差Nの寸法差H寸法の相互差(1)N寸法の相互差(1)複数セットのH寸法の相互差(2)A面に対するスライドユニットC面の走行時の平行度B面に対するスライドユニットD面の走行時の平行度上級(H)±0.040±0.0500.0150.020精密級(P)±0.020±0.0250.0070.010超精密級(SP)±0.010±0.0150.0050.007単位mm超超精密級(UP)±0.008±0.0100.0030.0030.0350.025--図1による図1による注(1)同一トラックレールに組み込まれたスライドユニット同士の相互差を示します。(2)フリーコンビネーション仕様に適用します。表6精度等級の適用大きさ1012152025303545556585100等級(等級記号)上級(H)精密級(P)超精密級(SP)超超精密級(UP)○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○備考はフリーコンビネーション仕様にも適用します。Ⅱ178
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