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-精度の等級-Ⅱ178表5許容差及び許容値単位mm等級(等級記号)項目上級精密級超精密級超超精密級(H)(P)(SP)(UP)Hの寸法差±0.040±0.020±0.010±0.008Nの寸法差±0.050±0.025±0.015±0.010H寸法の相互差(1)0.0150.0070.0050.003N寸法の相互差(1)0.0200.0100.0070.003複数セットのH寸法の相互差(2)0.0350.025--A面に対するスライドユニットC面の走行時の平行度図1によるB面に対するスライドユニットD面の走行時の平行度図1による注(1)同一トラックレールに組み込まれたスライドユニット同士の相互差を示します。(2)フリーコンビネーション仕様に適用します。HCABDN図1走行時の平行度403020100トラックレールの長さLmm上級(H)精密級(P)超精密級(SP)超超精密級(UP)50010001500200025003000平行度μm表6精度等級の適用大きさ等級(等級記号)上級精密級超精密級超超精密級(H)(P)(SP)(UP)10○○○○12○○○○15○○○○20○○○○25○○○○30○○○○35○○○○45○○○○55○○○○65○○○○85○○○○100○○○○備考はフリーコンビネーション仕様にも適用します。上級精密級超精密級超超精密級:H:P:SP:UPフリーコンビネーション仕様のときは、スライドユニットとトラックレールは同じ精度等級を組み合わせてください。精度等級の詳細は、表5をご参照ください。適用する精度等級は、表6をご参照ください。精度の等級8
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